李爱国回答:“目前国内制造晶体管使用的是合金扩散工艺,原材料是锗。如果换成高精度硅的话,使用点接触式,可以完成十微米的工艺目标。”
夏中肃教授仔细一想,还真是这么回事儿。
目前国内的1013所曾经拿高精度硅做过结晶实验,只不过因为成本较高,没有继续研究下去。
夏中肃教授坐了回去。
吉洛蒂站起身发问:“亲爱的爱国同志,制造你设计出的集成电路,应该需要特殊的技术吧?
要不然的话,就算是用最好的技术人员,不足以支持这么精细的图案。”
李爱国道:“我已经设计出了一种名为光刻的微电路制造技术。”
“光,光刻技术?”这个陌生的词汇立刻吸引了那些研究员们的注意。
也难怪,要知道光刻技术是六十年代才发明的,真正成熟并用于制造芯片,要到七十年了。
李爱国解释道:“大家都是高级知识分子,应该知道硅元素的排列容易受到光照的影响,光刻技术的基本原理是利用光通过掩模版将图案转移到硅片上。
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